Skripsi

Investigasi struktur dan sifat optik film tipis zno didoping al pada ito/glass dengan metode rf-sputtering / Joyuhan Putra Setyawan

Abstrak
Tujuan dari penelitian ini adalah untuk menyediakan film tipis yang berkualitas tinggi untuk sistem fotodetektor dimana ZnO sebagai komponen utama dan Al sebagai satu-satunya dopan. Film tipis ZnO doping Al (ZnO Al) dideposisikan pada substrat ITO glass menggunakan metode RF Sputtering pada suhu 300 deg C. Proses pendeposisian dijaga konstan pada tekanan chamber 7 x 10-1 Pa dengan besarnya daya plasma 200 watt selama 45 menit. Pendeposisian dilakukan dengan memvariasi konsentrasi dopan dengan tingkat kemurnian dopan 99 99% Aluminium yang ditambahkan dalam kisaran 0 5-5 0 wt%. Karakterisasi untuk mengetahui struktur kristal menggunakan X-Ray Diffraction (XRD) Scanning Electron Microspoce-Energy Dispersive X-Ray (SEM-EDX) untuk mengetahui struktur morfologi permukaan film tipis yang telah terlapisi Fourier Transform Infrared (FTIR) digunakan untuk mengidentifikasi gugus fungsi senyawa dan dilakukan juga pengujian fotodetektor menggunakan solar simulator untuk mengetahui fotorespon arus dan tegangan serta fotostabilitas. Hasil penelitian diketahui bahwa Al berhasil didoping ke dalam kisi ZnO dengan kisaran ukuran kristal 29-42 nm dengan struktur kristal wurtzite pada orientasi sumbu-c. Morfologi permukaan menunjukkan bahwa porositas bertambah besar dengan bertambahnya konsentrasi doping Al. Peningkatan konsentrasi doping Al juga menyebabkan peningkatan pada respon terhadap sinar UV.

Informasi Detail

DDC

SKRIPSI DIGITAL

Prodi

Universitas Negeri Malang. Program Studi Fisika, 2023.

Deskripsi Fisik

viii, 14 hlm. : ilus.

Bahasa

Indonesia

No Reg

3934/RS/23

Edisi

Skripsi (Sarjana)--Universitas Negeri Malang. 2023

Subjek

1. FISIKA OPTIK - FOTODEKETEKTOR
2. OPTICAL PHYSICS - PHOTODETECTORS

Pembimbing

1. Dr. Robi Kurniawan, M.Si; 2. Dr. Sunaryono, S.Pd, M.Si

Lampiran Berkas