Skripsi
Pengaruh daya sputtering pada pelapisan aluminium terhadap performa nanogenerator piezoelektrik berbasis zno nrs/al / Salsabilla Nazla Husna
Abstrak
Nanogenerator piezoelektrik merupakan nanogenerator yang dapat menghasilkan listrik dengan mengubah energi mekanik menjadi energi listrik. Material yang digunakan sebagai interlayer pada penelitian ini adalah alumunium (Al). Al mempunyai beberapa keunggulan seperti bobotnya yang ringan daya rekatnya yang baik pada substrat reflektifitas yang baik dan daya hantar listrik yang baik. Tujuan dari penelitian ini adalah mengetahui pengaruh daya sputtering pada lapisan aluminium terhadap karakteristik dan kinerja nanogenerator piezoelektrik dengan metode DC magnetron sputtering. ZnO Nanorod berhasil disintesis dengan metode hidotermal. Bahan PDMS dan Cu diendapkan masing-masing menggunakan metode spin-coating dan DC magnetron sputtering. Nanogenerator piezoelektrik dengan struktur material ITO-PET/ZnO NRs/Al/PDMS/Cu berhasil disintesis. Sampel nanogenerator piezoelektrik dikarakterisasi XRD SEM UV-Vis dan pengukuran I-V. Hasil uji XRD menunjukkan bahwa peningkatan daya sputtering pada ZnO NRs/Al menurunkan ukuran kristal dari 70 44 ndash 47 25 nm. Uji SEM menunjukkan ukuran partikel ZnO dengan tambahan Al menurun dari 295 32nm dengan peningkatan porositas 58 38% - 61 15%. Hasil analisis UV-Vis spektrofotometer menunjukkan penurunan bandgap dari 3 40 eV ndash 3 20 eV. Semakin besar daya sputtering pada deposisi Al maka konduktivitas nanogenerator meningkat sehingga daya yang dihasilkan semakin tinggi. Hal ini menunjukkan bahwa kinerja nanogenerator piezoelektrik meningkat dan Al cocok digunakan sebagai interlayer.